一、分析試樣和標準試樣的組織狀態不同

　　進行固體金屬材料分析時，分析試樣和標準試樣的組織狀態經常存在差異(如鑄造狀態的鋼樣，和經過退火、淬火、回火、熱軋、鍛壓等狀態的鋼樣金屬組織結構不同)。 根據組織結構的不同，光電直讀光譜分析中某些元素的測定結果也不同，引起了系統誤差。

　　二、氫氣不純

　　氫氣中含有氧氣和水蒸氣時，激發點會劣化。 或者氫氣管道和電極托架沒有排出污染物，或者有渾濁泄漏，分析結果就會變差，導致系統誤差。 鎢電極的影響鎢電極必須具有角度，以免光軸偏離中心，放電間隙必須保持不變。 否則，聚焦在分光器上的光譜強度將發生變化。 像：一樣反復放電后，鎢電極變尖，改變間隙放電距離產生的金屬蒸汽會污染透鏡表面，它們會引起系統誤差。 所以每次激勵都必須用刷子清潔電極。

　　三、樣品中基質元素和分析元素以外的其他元素的干擾

　　如果標準樣品和樣品中第三元素的含量和化學組成不*相同，則可能引起基質線和分析線的強度變化，從而引起系統誤差。

　　四、鏡頭的影響

　　鏡片內表面用于保持真空，經常被來自真空泵的油蒸氣污染，外面在分析時會產生金屬蒸氣的附著。 明顯降低了透過率，明顯降低了鎮對200 nm碳、硫、磷光譜線的透過率。 由于作業曲線的傾斜會降低，因此請定期清潔聚光鏡頭。 度、偶然誤差小，再現性(精度)高。 系統錯誤值和真值沒有差別時。 根據誤差的性質及其發生的原因

　　五、分析樣品與控制樣品的操作不一致

　　磨光粗細要一致，沒有十字紋。 打磨的力量不要太大。 另外，要用力使其均勻，以實現操作的一致。 用力過猛時，試樣的磨光會過熱，試樣表面容易氧化。

　　六、試樣成分不均勻

　　由于光譜分析消耗的樣品少，樣品中元素分布的不均勻性、組織結構的不均勻性，不同部位的分析結果不同。 不均勻性的主要原因是：冶煉過程中帶人的夾雜物樣品熔煉過程中發生的偏析，樣品元素分布不均勻樣品加工過程中夾著人的磨粒和金屬元素，樣品紋路交叉，樣品打磨樣品時過熱，樣品拋光面放置時間過長， 樣品取樣冷卻過程中的缺陷，如：氣孔、裂紋、沙眼等。